5-восевыя фрэзераваныя керамічныя ізалятары для паўправадніковага абсталявання і чыстых памяшканняў

У свеце высокарызыкоўнай вытворчасці паўправаднікоў і чыстых памяшканняў кожны кампанент павінен забяспечваць бездакорную працу.ПФТ, мы спецыялізуемся на рукадзеллі5-восевыя фрэзераваныя керамічныя ізалятарыякія пераасэнсоўваюць дакладнасць і надзейнасць. З больш чым 20Дзякуючы шматгадоваму вопыту, нашы рашэнні распрацаваны ў адпаведнасці з высокімі патрабаваннямі да паўправадніковага абсталявання, забяспечваючы тэрмічную стабільнасць, электрычную ізаляцыю і бяспечную працу ў звышадчувальных умовах.

Чаму варта выбраць нашы 5-восевыя фрэзераваныя керамічныя ізалятары?

1.Пашыраныя вытворчыя магчымасці

Наша ўстанова абсталявананайсучаснейшыя 5-восевыя фрэзерныя станкі з ЧПУ, што дазваляе дасягнуць мікраннай дакладнасці пры фарміраванні перадавых керамічных вырабаў, такіх як аксід алюмінію (Al₂O₃), карбід крэмнію (SiC) і нітрыд алюмінію (AlN). У адрозненне ад традыцыйных метадаў, 5-восевая апрацоўка дазваляе ствараць складаныя геаметрыі, што мае вырашальнае значэнне для такіх кампанентаў, як штыфты для пад'ёму пласцін, дэталі камеры нанясення і плазмаўстойлівыя ізалятары.

Асноўныя характарыстыкі:

•Дакладнасць:Дапушчальнае адхіленне ±0,005 мм для бясшвоўнай інтэграцыі ў літаграфічныя інструменты ASML або сістэмы травлення Lam Research.
•Універсальнасць матэрыялу:Аптымізаваны для аксіду алюмінію з утрыманнем алюмінію 99,8%, карбіду крэмнію высокай чысціні і іншых сучасных керамічных вырабаў.
•Аздабленне паверхні:Ra <0,2 мкм для мінімізацыі ўтварэння часціц у чыстых памяшканнях класа ISO 1.

2.Уласная тэхналагічная інжынерыя

Нашы інжынеры распрацавалікіраванне працэсамі з замкнёным цыкламякія адаптуюцца да далікатнасці керамікі падчас апрацоўкі. Спалучаючы метады сухога фрэзеравання з гашэннем вібрацыі ў рэжыме рэальнага часу, мы дасягаем паверхняў без расколін і падаўжаем тэрмін службы кампанентаў — нават пры экстрэмальных тэрмічных цыклах (да 1600°C).

Інавацыі ў цэнтры ўвагі:

•Пратаколы па зняцці стрэсу:Мінімізуйце мікратрэшчыны ў ізалятарах з AlN для прымянення ў хімічных вадкасных тэрмічных апрацоўках.
•Пасляапрацоўка:HIP (гарачае ізастатычнае прэсаванне) павышае шчыльнасць і каразійную ўстойлівасць.

3.Строгі кантроль якасці

Кожны ізалятар праходзіць12-этапная праверка, у тым ліку:

•КІМ (каардынатна-вымяральная машына)праверка крытычных вымярэнняў.
•Выпрабаванне на ўцечку геліядля сумяшчальнасці з вакуумам.
•ЭДС (энергетычная дысперсійная рэнтгенаўская спектраскапія)каб праверыць чысціню матэрыялу.

НашСістэма сертыфікацыі ISO 9001/14001забяспечвае прасочвальнасць ад закупкі сыравіны (якая паступае ад пастаўшчыкоў першага ўзроўню, такіх як CoorsTek) да канчатковай упакоўкі.

Прымяненне: дзе дакладнасць сустракаецца з прадукцыйнасцю

Нашым ізалятарам давяраюць:

•Інструменты для травлення і нанясення пластыка:Кампаненты з пакрыццём SiC для плазмастойкасці ў модулях Applied Materials™.
•Іённыя імплантатары:Алюмініевыя пад'ёмныя штыфты з антыстатычным пакрыццём для прадухілення саслізгвання пласцін.
•Метралагічныя сістэмы:Ізалятары з нізкім каэфіцыентам цеплавога пашырэння для этапаў EUV-літаграфіі.

Тэматычнае даследаванне:Вядучы вытворца паўправадніковых прылад скараціў час прастою інструмента на 40% пасля пераходу на нашы спецыяльна распрацаваныя душавыя лейкі з карбіду крэмнію, якія пераўзышлі дэталі канкурэнтаў у апрацоўцы пласцін памерам 300 мм.

Па-за межамі вытворчасці: партнёрскі падыход

•Хуткае прататыпаванне:Адпраўце свае CAD-файлы і атрымайце функцыянальныя прататыпы праз 7 дзён.
•Упакоўка для чыстых памяшканняў на месцы:Дадатковая зборка для чыстых памяшканняў класа 10 для непасрэднай інтэграцыі інструментаў.
•Пажыццёвая тэхнічная падтрымка:Нашы інжынеры праводзяць аналіз зносу і паслугі па паўторнай апрацоўцы, каб падоўжыць тэрмін службы кампанентаў.